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Maker : KLA-TENCOR
PWR DISTR BOARD
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MAKER : APPLIED MATERIALS
MODULE : 0090-02830
TEMP CONTROLLER
- SCM5B37K Thermocouple Input Module
- NMA1205s Dual Output DC/DC Converter
- 25-PIN Interface
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Msker : APPLIED MATERIALS(AMK)
Module : ESC1.5pn7.5X3286(0190-14140)
ELECTROSTAIC CHUCK POWER SUPPLY
수리 완료하였습니다.
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